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SMART MATERIAL SYSTEMS AND MEMS：DESIGN AND DEVELOPMENT METHODOLOGIES
作者：
VARADAN
分類：
工業•工程
／
機械
叢書系列：實用機械
出版社：
全華圖書
出版日期：2006/1/20
ISBN：0470093617
書籍編號：kk0166959
頁數：404
定價：
1650
元
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內容簡介
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<b><font color="#aa0000">內容簡介</font></b> Presenting unified coverage of the design and modeling of smart micro- and macrosystems, this book addresses fabrication issues and outlines the challenges faced by engineers working with smart sensors in a variety of applications. Part I deals with the fundamental concepts of a typical smart system and its constituent components. Preliminary fabrication and characterization concepts are introduced before design principles are discussed in detail. Part III presents a comprehensive account of the modeling of smart systems, smart sensors and actuators. Part IV builds upon the fundamental concepts to analyze fabrication techniques for silicon-based MEMS in more detail. Practicing engineers will benefit from the detailed assessment of applications in communications technology, aerospace, biomedical and mechanical engineering. The book provides an essential reference or textbook for graduates following a course in smart sensors, actuators and systems.
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