登入
｜
註冊
｜
會員中心
｜
結帳
｜
培訓課程
魔法弟子
｜
自資出版
｜
電子書
｜
客服中心
｜
智慧型立体會員
書名
出版社
作者
isbn
編號
5050魔法眾籌
|
NG書城
|
國際級品牌課程
|
優惠通知
|
霹靂英雄音樂精選
|
認識摩托車的基本構造(圖解版)
．
無線通訊技術與RFI
．
無線區域網路
．
微系統技術
文學小說
文學
｜
小說
商管創投
財經投資
｜
行銷企管
人文藝坊
宗教、哲學
社會、人文、史地
藝術、美學
｜
電影戲劇
勵志養生
醫療、保健
料理、生活百科
教育、心理、勵志
進修學習
電腦與網路
｜
語言工具
雜誌、期刊
｜
軍政、法律
參考、考試、教科用書
科學工程
科學、自然
｜
工業、工程
家庭親子
家庭、親子、人際
青少年、童書
玩樂天地
旅遊、地圖
｜
休閒娛樂
漫畫、插圖
｜
限制級
微奈米加工學
作者：
溫榮弘
分類：
工業•工程
／
機械
叢書系列：實用機械
出版社：
全華圖書
出版日期：2008/6/3
ISBN：9572162918
書籍編號：kk0208879
頁數：240
定價：
300
元
優惠價：
88
折
264
元
書價若有異動，以出版社實際定價為準
訂購後立即為您進貨
訂購後立即為您進貨：目前無庫存量,讀者下訂後,開始進入調書程序,一般天數約為2-10工作日(不含例假日)。
團購數最低為 20 本以上
評價數：
(請將滑鼠移至星星處進行評價)
目前平均評價：
文字連結
複製語法
<a href='https://www.silkbook.com/book_detail.asp?goods_ser=kk0208879'>微奈米加工學</a>
圖片連結
複製語法
<a href='https://www.silkbook.com/book_detail.asp?goods_ser=kk0208879'><img src='https://www.silkbook.com/mall_image/bk/kk0208879.jpg' ALT='微奈米加工學' height='120' width='90'></a>
分
享
內容簡介
同類推薦
<b><font color="#aa0000">內容簡介</font></b> 本書以氣體分子作為一種『工具』來切入微奈米加工的物理、化學原理講解，並且不以半導體元件或大學程度的電磁學為前提，而以高中層級的物理講解，特別以能理解力學系統領域的知識為重點。對現象的物理模型以數學式描述，可幫助原理的理解；重要的數學式和概念清楚說明強調，並對應到附錄中進行解說。且對於將來進行進階專業等的發展學習研究時，基礎技術人員也能獨立學習而有相當成效。本書適用機械系、材料系、資訊系、電子相關科系，或對『微奈米加工學』有興趣者皆可研讀。 <b><font color="#aa0000">目錄</font></b> 第一章 導論 第二章 真空和氣體分子動力學 2.1前言 2.2真空和狀態方程式 2.2.1何謂真空 2.2.2理想氣體和氣體性質 2.3氣體的壓力和內部能量 2.3.1壓力和分子速度 2.3.2氣體的內部能量 2.4全壓和分壓 2.5氣體分子速度的分佈定律 2.5.1Maxwell-Boltzmann分佈 2.5.2通過單位面積的分子數 2.5.3餘弦定律 2.6平均自由路徑和碰撞機率 2.6.1平均自由路徑 2.6.2碰撞機率 2.6.3混合氣體的平均自由路徑 2.7真空中的氣流 2.7.1黏性流和分子流 2.7.2氣導 2.7.3排氣量和排氣速度 2.7.4氣體添加和壓力控制，平均停留時間 2.8真空設備 2.8.1真空容器和管路 2.8.2真空泵浦 第三章 電漿的基礎 3.1前言 3.2何謂電漿 3.2.1電漿中的粒子狀態 3.2.2電磁場中的帶電粒子運動 3.3電子和氣體分子的碰撞過程 3.3.1彈性碰撞和非彈性碰撞 3.3.2碰撞過程 3.3.3碰撞截面積 3.4接觸物體的電漿構造 3.5電漿設備和電漿的內部現象 3.5.1直流電漿 3.5.2高頻電漿 3.5.3微細加工用的新電漿 第四章 物理蒸鍍法(PVD) 4.1前言 4.2真空蒸鍍法 4.2.1蒸發和蒸鍍 4.2.2真空蒸鍍源和各種蒸鍍法 4.2.3真空蒸鍍法的特徵 4.3濺鍍法 4.3.1何謂濺鍍法 4.3.2濺鍍法的沉積過程 4.3.3濺鍍沉積設備 4.3.4其它的濺鍍沉積法 第五章 薄膜的形成過程 5.1前言 5.2薄膜成長與其表面 5.2.1原子沉積和膜的型態 5.2.2薄膜表面 5.3晶核的產生 5.3.1以平衡理論解釋 5.3.2晶核產生的速度理論 5.4薄膜組織的發展 5.4.1島的成長和結合 5.4.2多晶薄膜組織的發展 5.4.3磊晶成長 第六章 蝕刻 6.1前言 6.2蝕刻加工的分類 6.3濕蝕刻 6.3.1等向性蝕刻 6.3.2異向性蝕刻 6.4物理性乾蝕刻 6.5化學性乾蝕刻 6.5.1熱反應性化學蝕刻 6.5.2電漿蝕刻 6.5.3光化學蝕刻和電荷累積 6.6物理+化學性乾蝕刻 6.6.1反應性離子蝕刻(RIE) 6.6.2其它的離子輔助蝕刻法 第七章 微影 7.1前言 7.2微影概述 7.3光阻製程 7.3.1光阻材料 7.3.2塗佈製程 7.4光罩 7.4.1光罩材料 7.4.2光罩圖案的設計 7.5曝光 7.5.1曝光設備 7.5.2光源 附錄A基本常數表和真空單位 附錄B材料科學相關的記述 附錄C分佈函數和Maxwell-Boltzmann分佈 附錄D對數刻度和對數圖參考文獻索引
汽車構造＆知識全圖解
現代汽油噴射引擎(第
TQC+ AutoC
汽車煞車系統ABS理
世界第一簡單無人機
Mastercam
創意機械專題實作【最
空調設備(第四版)
【新裝版】3小時讀通
易懂！實用！雷射加工
為了保障您的權益，新絲路網路書店所購買的商品均享有到貨七天的鑑賞期（含例假日）。退回之商品必須於鑑賞期內寄回（以郵戳或收執聯為憑），且商品必須是全新狀態與完整包裝(商品、附件、內外包裝、隨貨文件、贈品等)，否則恕不接受退貨。
