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ISBN¡G9572163884
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內容簡介
這些年來光電、生物科技迅速掘起加速更新,半導體也推陳出新挑戰極限,而這些改變則是需要嚴格的生產廠房及研發環境,但在目前市面是並無以有系統介紹建立高科技廠房的專業案頭書,有鑑於此,作者將二十多年來在高科技產業的執行及顧問經驗,將所有的廠務系統作全面有秩序的整理編寫。 本書共分為十三大章,內容涵蓋了潔淨室和廠務之八大系統,除此之外有風險管理和建廠工程之規劃內容和執行原則介紹,本書的內容偏重實務之應用面和執行面。
目錄
第1章 潔淨室與空調1-1 1-1 前 言1-1 1-2 潔淨室定義與發展史1-6 1-3 潔淨室標準與規格1-10 1-4 潔淨室適用範圍1-26 1-5 潔淨室分類1-36 1-6 潔淨空氣流分析1-52 1-7 不同障礙物對氣流之影響1-59 1-8 潔淨室設計規劃1-63 1-9 潔淨室震動、靜電、噪音、電磁干擾之防制1-75 1-10 潔淨室空調設計1-91 1-11 潔淨室建造、組裝材及程序1-112 1-12 潔淨室測試與驗收1-152 1-13 潔淨室運轉與維護管理1-163 1-14 潔淨室自動化系統1-201 1-15 潔淨室建造成本分析1-205 第2章 超純水處理2-1 2-1 前 言2-1 2-1-1 純水之功能2-2 2-1-2 水中之污染物2-2 2-1-3 水中不純物之測定分析2-5 2-2 超純水之製造2-12 2-2-1 超純水之規範2-12 2-2-2 純水製造類別分析2-18 2-2-3 純水製造用膜材質比較2-22 2-3 高科技產業用超純水2-24 2-3-1 高科技廠純水製造流程2-24 2-3-2 各製程模組件功能分析2-26 2-3-3 超純水管路設計2-29 2-3-4 超純水運轉、故障排除與品質監控2-30 第3章 中央式化學品供應系統3-1 3-1 前 言3-1 3-2 化學品供應需求要素3-2 3-3 化學品供應種類3-2 3-4 化學品供應系統之架構與作用原理3-6 3-5 化學品配管與安全考量3-12 3-6 結 論3-14 第4章 中央式氣體供應系統4-1 4-1 前 言4-1 4-2 光電廠和半導體廠所使用之氣體4-2 4-3 氣體的規範4-5 4-4 中央式氣體供應架構4-6 4-5 供氣系統的安全技術4-13 4-6 氣體的供應輸送4-15 4-7 氣體供應的規劃與設計4-18 第5章 廢水處理及回收5-1 5-1 前 言5-1 5-2 排放標準5-2 5-3 廢水種類5-5 5-4 廢水處理系統介紹5-6 5-5 廢水處理之規劃設計運轉5-14 第6章 電力供應與中央監控6-1 6-1 前 言6-1 6-2 電力供應系統組成6-2 6-3 受電供電設備6-5 6-4 建廠電力系統規劃6-6 6-5 電力供應系統設備運轉管理6-24 6-6 廠務中央監控系統6-26 第7章 廠務設施架構7-1 7-1 前 言7-1 7-2 冰水及冷凝冷卻水7-1 7-3 熱水、蒸氣與柴油、瓦斯供應系統7-3 7-4 製程冷卻水7-5 7-5 乾燥壓縮空氣/呼吸用空氣7-6 7-6 製程真空和清潔用真空系統7-8 第8章 環境保護與工業安全維護8-1 8-1 前 言8-1 8-2 環保與工安之功能目的8-2 8-3 半導體與光電廠廢氣處理規劃8-2 8-4 廢氣種類與排放標準8-4 8-5 廢氣處理方式8-5 8-6 廢棄物處理與減廢8-18 8-7 有關環保相關申請文件及流程8-40 8-8 工業安全與衛生維護8-51 第9章 管路設計及空間佈置規劃9-1 9-1 前 言9-1 9-2 管路材質選用9-2 9-3 氣體管路配管9-4 9-4 管路標示9-14 9-5 管路設計規劃9-17 9-6 管路之空間佈置9-21 第10章建廠設計評估及施工監造管理10-1 10-1 前 言10-1 10-2 建廠工程規劃10-2 10-3 建廠工程設計及施工執行流程10-5 第11章風險評估管理計劃11-1 11-1 前 言11-1 11-2 風險管理四要素11-2 11-3 風險評估程序11-5 11-4 損害防阻執行11-6 11-5 災害復原計畫11-10 第12章高科技廠建廠及運轉成本分析12-1 12-1 前 言12-1 12-2 建廠時程12-2 12-3 建廠成本分析12-3 12-4 廠務系統用量分析12-7 第13章結 語13-1 附 錄 簡稱字彙彙總附-1
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