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¥Xª©¤é´Á¡G2008/7/17
ISBN¡G9572163884
®ÑÄy½s¸¹¡Gkk0212162
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內容簡介
³o些年來光¹q¡B生物科技¨³³t掘°_加³t更新¡A半導Åé也推³¯出新挑戰極¡A¦Ó³o些改ÅÜ則是»Ýn嚴格的生產廠房及研發環境¡A但在目前市±是並無以有系統介紹建立°ª科技廠房的專業案ÀY書¡A有Ų於此¡A作ªÌ將二十多年來在°ª科技產業的執¦æ及ÅU問經Åç¡A將所有的廠務系統作全±有秩序的整理編寫¡C 本書共分為十三大章¡A內容涵»\了潔淨室和廠務之八大系統¡A°£此之外有·ÀI管理和建廠工程之³W劃內容和執¦æ原則介紹¡A本書的內容偏«實務之應用±和執¦æ±¡C
目¿ý
第1章¡@潔淨室»P空½Õ1-1 1-1¡@前¡@¨¥1-1 1-2¡@潔淨室定義»P發展史1-6 1-3¡@潔淨室標準»P³W格1-10 1-4¡@潔淨室¾A用範圍1-26 1-5¡@潔淨室分Ãþ1-36 1-6¡@潔淨空氣流分析1-52 1-7¡@不同»Ù礙物對氣流之影ÅT1-59 1-8¡@潔淨室³]p³W劃1-63 1-9¡@潔淨室¾_動¡BÀR¹q¡B噪µ¡B¹q磁干擾之¨¾制1-75 1-10¡@潔淨室空½Õ³]p1-91 1-11¡@潔淨室建³y¡B組¸Ë材及程序1-112 1-12¡@潔淨室測¸Õ»PÅç收1-152 1-13¡@潔淨室¹BÂà»P維Å@管理1-163 1-14¡@潔淨室¦Û動化系統1-201 1-15¡@潔淨室建³y成本分析1-205 第2章¡@¶W純水³B理2-1 2-1¡@前¡@¨¥2-1 2-1-1¡@純水之功¯à2-2 2-1-2¡@水中之污染物2-2 2-1-3¡@水中不純物之測定分析2-5 2-2¡@¶W純水之»s³y2-12 2-2-1¡@¶W純水之³W範2-12 2-2-2¡@純水»s³yÃþ別分析2-18 2-2-3¡@純水»s³y用½¤材½è比¸û2-22 2-3¡@°ª科技產業用¶W純水2-24 2-3-1¡@°ª科技廠純水»s³y流程2-24 2-3-2¡@各»s程模組件功¯à分析2-26 2-3-3¡@¶W純水管¸ô³]p2-29 2-3-4¡@¶W純水¹BÂà¡B故»Ù排°£»P品½è監控2-30 第3章¡@中央式化學品供應系統3-1 3-1¡@前¡@¨¥3-1 3-2¡@化學品供應»Ý求n素3-2 3-3¡@化學品供應種Ãþ3-2 3-4¡@化學品供應系統之架構»P作用原理3-6 3-5¡@化學品°t管»P安全¦Ò¶q3-12 3-6¡@結¡@½×3-14 第4章¡@中央式氣Åé供應系統4-1 4-1¡@前¡@¨¥4-1 4-2¡@光¹q廠和半導Åé廠所使用之氣Åé4-2 4-3¡@氣Åé的³W範4-5 4-4¡@中央式氣Åé供應架構4-6 4-5¡@供氣系統的安全技³N4-13 4-6¡@氣Åé的供應¿é°e4-15 4-7¡@氣Åé供應的³W劃»P³]p4-18 第5章¡@廢水³B理及回收5-1 5-1¡@前¡@¨¥5-1 5-2¡@排放標準5-2 5-3¡@廢水種Ãþ5-5 5-4¡@廢水³B理系統介紹5-6 5-5¡@廢水³B理之³W劃³]p¹BÂà5-14 第6章¡@¹q力供應»P中央監控6-1 6-1¡@前¡@¨¥6-1 6-2¡@¹q力供應系統組成6-2 6-3¡@受¹q供¹q³]備6-5 6-4¡@建廠¹q力系統³W劃6-6 6-5¡@¹q力供應系統³]備¹BÂà管理6-24 6-6¡@廠務中央監控系統6-26 第7章¡@廠務³]施架構7-1 7-1¡@前¡@¨¥7-1 7-2¡@冰水及冷凝冷卻水7-1 7-3¡@熱水¡B»]氣»P柴油¡B瓦斯供應系統7-3 7-4¡@»s程冷卻水7-5 7-5¡@乾燥壓縮空氣¡þ呼吸用空氣7-6 7-6¡@»s程真空和清潔用真空系統7-8 第8章¡@環境保Å@»P工業安全維Å@8-1 8-1¡@前¡@¨¥8-1 8-2¡@環保»P工安之功¯à目的8-2 8-3¡@半導Åé»P光¹q廠廢氣³B理³W劃8-2 8-4¡@廢氣種Ãþ»P排放標準8-4 8-5¡@廢氣³B理方式8-5 8-6¡@廢棄物³B理»P減廢8-18 8-7¡@有Ãö環保相Ãö申½Ð文件及流程8-40 8-8¡@工業安全»P½Ã生維Å@8-51 第9章¡@管¸ô³]p及空¶¡佈置³W劃9-1 9-1¡@前¡@¨¥9-1 9-2¡@管¸ô材½è¿ï用9-2 9-3¡@氣Åé管¸ô°t管9-4 9-4¡@管¸ô標示9-14 9-5¡@管¸ô³]p³W劃9-17 9-6¡@管¸ô之空¶¡佈置9-21 第10章建廠³]pµû估及施工監³y管理10-1 10-1¡@前¡@¨¥10-1 10-2¡@建廠工程³W劃10-2 10-3¡@建廠工程³]p及施工執¦æ流程10-5 第11章·ÀIµû估管理p劃11-1 11-1¡@前¡@¨¥11-1 11-2¡@·ÀI管理四n素11-2 11-3¡@·ÀIµû估程序11-5 11-4¡@損害¨¾ªý執¦æ11-6 11-5¡@災害復原p畫11-10 第12章°ª科技廠建廠及¹BÂà成本分析12-1 12-1¡@前¡@¨¥12-1 12-2¡@建廠時程12-2 12-3¡@建廠成本分析12-3 12-4¡@廠務系統用¶q分析12-7 第13章結¡@»y13-1 ªþ¡@¡@¿ý 簡稱字彙彙總ªþ-1
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