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FUNDAMENTALS OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING AND PROCESS CONTROL
作者：
MAY、SPANOS
分類：
工業•工程
／
電子•電機
叢書系列：實用電子
出版社：
全華圖書
出版日期：2006/1/20
ISBN：0471784060
書籍編號：kk0166952
頁數：463
定價：
1150
元
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內容簡介
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<b><font color="#aa0000">內容簡介</font></b> Fundamentals of Semiconductor Manufacturing and Process Control covers all issues involved in manufacturing microelectronic devices and circuits, including fabrication sequences, process control, experimental design, process modeling, yield modeling, and CIM/CAM systems. Readers are introduced to both the theory and practice of all basic manufacturing concepts. ‧本書特色： 適合半導體製程概論課程,但多為選修課。Critical coverage includes the following: * Combines process control and semiconductor manufacturing * Unique treatment of system and software technology and management of overall manufacturing systems * Chapters include case studies, sample problems, and suggested exercises * Instructor support includes electronic copies of the figures and an instructor’’s manual
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