作者簡介：
菊地正典
1944年生，1968年東京大學工學部物理工學科畢業後，即進入日本電氣公司（NEC），
長期從事半導體元件及製程開發相關工作，累積半導體開發與量產的豐富經驗。
1996年擔任NEC公司半導體事業集團總工程師，2000年擔任NEC電子元件總工程師，
2002年起擔任日本半導體製造裝置協會（SEAJ）專務理事，現任職於日本半導體能源研究所顧問。
著作有：《圖解圖解電子裝置》（世茂出版），監修《圖解半導體製造裝置》
（世茂出版）、《日本頂尖工程師的生存筆記》（智富出版）。