楊子明、鍾昌貴、沈志彥、李美儀、吳鴻佑、詹家瑋 編著


作者簡介
楊子明
交通大學半導體材料與製程設備學程工學碩士

鍾昌貴
台北科技大學機電整合所碩士

沈志彥
中正大學化工所工學碩士

李美儀
交通大學材料所工學博士

吳鴻佑
交通大學半導體材料與製程設備學程工學碩士

詹家瑋
交通大學半導體材料與製程設備學程工學碩士
總校閱簡介 吳耀銓
美國史丹福大學材料科學工程與電機博士
交通大學材料科學與工程研究所教授