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半導體製程設備
分類:
參考•考試•教科書
/
大專學院教科書
出版社:
五南文化
出版日期:2000/12/1
ISBN:9571122696
書籍編號:bu0023057
頁數:628
定價:
680
元
優惠價:
9
折
612
元
書價若有異動,以出版社實際定價為準
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半導體製程設備
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內容簡介
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本書簡介
半導體元件由矽土製成矽晶圓, 再經數百個製程步驟,才製作出256M級的DRAM。這期間所使用的機器,主要的也不過十數種。晶圓成長爐、磊晶反應器、步進照像儀、化學氣相沉積爐、氧化和擴散高溫爐、離子植入機、乾蝕刻機、電子束蒸鍍機、濺鍍機、化學機械研磨機等。以及封裝製程設備、真空幫浦及系統洗淨機器等主要支援設備。本書對這些機器的構造和操作原理都有詳盡的敘述。 砷化鎵Ⅲ–Ⅴ化合物半導體製程,如金屬有機化學氣相沉積爐、分子束磊晶和銅製程使用設備、低介電常數介電製作設備以及一些2000千禧年推出的新機器,也都在本書有詳盡的敘述,次世代先進的製程設備也有一些介紹。
作者簡介
逢甲大學電機系副教授
功率半導體元件與封裝
眼科及視光儀器學【含
電氣安全(第四版)
運動生理學(第四版)
環境與生態(第五版)
新編婦女健康(第三版
人體解剖學(第二版)
職業安全衛生:心智圖
工業通風(第八版)
圖解人體生理學:一看
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