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潔淨室設計與管理（修訂版）
作者：
顏登通
分類：
工業•工程
／
管理•安全
出版社：
全華圖書
出版日期：1996/9/1
ISBN：9572113364
書籍編號：sb0077094
頁數：232
定價：
250
元
優惠價：
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元
書價若有異動，以出版社實際定價為準
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<a href='https://www.silkbook.com/book_detail.asp?goods_ser=sb0077094'>潔淨室設計與管理（修訂版）</a>
內容簡介
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<FONT COLOR=AF0000>● 內容簡介 ●</FONT> <FONT COLOR=000011> 本書作者曾任工研院電子所，並實際參與次微米積體電路計劃，對潔淨室的設計規劃有相當深入的研究，本著貢獻社會的理念，將寶貴的經驗與心得撰著成書，呈獻給您。內容包括潔淨室概說、規劃、空調設計、構材、組裝、維護、成本及未來走向....等等，都是相當實務的經驗資料。本書可供積體電路、電機機房、醫藥、化學、食品....等各種需要潔淨室設備的業界工程師參考，也可做為大學電子系「積體電路」、「半導體元件」、「半導體廠務設施」、「潔淨室設計與管理」等課程之輔修教材。 <FONT COLOR="#AA0000">■ 目錄</FONT> 第一章 潔淨室 1.1潔淨室定義 1.2潔淨室歷史演進 1.3微塵粒子分佈與控制 1.4潔淨室適用範圍 1.5潔淨室標準規格 1.6半導體製程與潔淨室 1.7潔淨室分類 第二章 潔淨室氣流運動 2.1氣流速度分析 2.2風速運動模擬實驗 2.3障礙物對氣流的影響與解決 第三章 潔淨室設計規劃 3.1設計原則 3.2空間佈置規劃 3.3潔淨室設計考慮重點 3.4震動及防制對策 3.5噪音及防制 3.6靜電防制 3.7電磁干擾 第四章 潔淨室空調設計 4.1潔淨室空調特性 4.2潔淨室空調系統之改善 4.3空調設計原則與考慮要因 4.4潔淨室空調的節能設計 4.5潔淨室空調的施工 第五章 潔淨室構裝材及組裝程序 5.1潔淨室之構成 5.2空氣過慮器 5.3地板及高架地板 5.4隔間牆 5.5屋頂 5.6照明燈具 5.7建築配件 5.8潔淨室組裝程序 第六章 潔淨室附屬配件 6.1腳踏黏墊 6.2空氣洗塵器 6.3傳遞箱 6.4壓力平衡器 6.5其他 第七章 潔淨室測驗與驗收 7.1潔淨室測試 7.2測驗檢驗內容 7.3潔淨室驗收基準與規範 第八章 潔淨室運轉與維護管理 8.1微污染控制 8.2潔淨室運轉管理 8.3潔淨室各系統維護保養管理 8.4潔淨室中央監控系統管理 第九章 潔淨室工業安全與環境保護 9.1廢水處理系統 9.2廢水處理 9.3毒器監視系統 9.4消防排煙與防護起具 9.5廢棄物處理 第十章 半導體廠務供應系統 10.1超純水系統 10.2軟水處理 10.3氣體供應系統 10.4化學品供應系統 10.5電力系統 10.6一般廠務設施供應系統 10.7管路配置規劃 第十一章 潔淨室建造成本及廠務用量分析 11.1建廠時程 11.2建造成本 11.3廠務系統用量分析 第十二章 潔淨室未來設計走向 12.1標準機械介面 12.2迷你型潔淨環淨設計 12.3環狀單柱式潔淨室
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