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內容簡介
由於矽晶圓材料是半導Åé工業的基礎¡A因此從事半導Åé»â域之學³N研究»P工程人員¡A³£必¶·深入的瞭¸Ñ矽晶圓的基本性½è»P»s³y¹L程¡C因此本書內容上採深入淺出的方式敘z¡A°£了介紹矽晶圓工業的歷史演¶i»P產業現況之外¡A尚包含了以下單元¡G矽晶的基本性½è¡B多晶矽的»s³y技³N¡B單晶生ªø¡B矽晶缺³´¡B矽晶之加工成型¡B性½è檢測等單元¡C作ªÌ將本書的«ÂI放在矽晶圓»s³y流程的介紹上¡C¾A用於晶圓半導Åé材料技³N有¿³½ì之ŪªÌ及相Ãö從業人員¡C
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