登入
｜
註冊
｜
會員中心
｜
結帳
｜
培訓課程
魔法弟子
｜
自資出版
｜
電子書
｜
客服中心
｜
智慧型立体會員
書名
出版社
作者
isbn
編號
5050魔法眾籌
|
NG書城
|
國際級品牌課程
|
優惠通知
|
霹靂英雄音樂精選
|
微處理機／單晶片組合語言教學範本(附CD)
．
半導體製程設備(3版
．
電子電機工程英漢對照
文學小說
文學
｜
小說
商管創投
財經投資
｜
行銷企管
人文藝坊
宗教、哲學
社會、人文、史地
藝術、美學
｜
電影戲劇
勵志養生
醫療、保健
料理、生活百科
教育、心理、勵志
進修學習
電腦與網路
｜
語言工具
雜誌、期刊
｜
軍政、法律
參考、考試、教科用書
科學工程
科學、自然
｜
工業、工程
家庭親子
家庭、親子、人際
青少年、童書
玩樂天地
旅遊、地圖
｜
休閒娛樂
漫畫、插圖
｜
限制級
半導體製程設備(4版1刷)
作者：
張勁燕
分類：
參考•考試•教科書
／
大專學院教科書
出版社：
五南文化
出版日期：2009/9/1
ISBN：9789571152509
書籍編號：kk0249185
頁數：600
定價：
720
元
優惠價：
9
折
648
元
書價若有異動，以出版社實際定價為準
訂購後立即為您進貨
訂購後立即為您進貨：目前無庫存量,讀者下訂後,開始進入調書程序,一般天數約為2-10工作日(不含例假日)。
團購數最低為 20 本以上
評價數：
(請將滑鼠移至星星處進行評價)
目前平均評價：
文字連結
複製語法
<a href='https://www.silkbook.com/book_detail.asp?goods_ser=kk0249185'>半導體製程設備(4版1刷)</a>
圖片連結
複製語法
<a href='https://www.silkbook.com/book_detail.asp?goods_ser=kk0249185'><img src='https://www.silkbook.com/mall_image/bk/kk0249185.jpg' ALT='半導體製程設備(4版1刷)' height='120' width='90'></a>
分
享
內容簡介
作者介紹
同類推薦
半導體製程設備(4版1刷) 半導體元件由矽土製成矽晶圓， 再經數百個製程步驟，才製作出256M級的DRAM。這期間所使用的機器，主要的也不過十數種。晶圓成長爐、磊晶反應器、步進照像儀、化學氣相沉積爐、氧化和擴散高溫爐、離子植入機、乾蝕刻機、電子束蒸鍍機、濺鍍機、化學機械研磨機等。以及封裝製程設備、真空幫浦及系統洗淨機器等主要支援設備。本書對這些機器的構造和操作原理都有詳盡的敘述。 砷化鎵Ⅲ–Ⅴ化合物半導體製程，如金屬有機化學氣相沉積爐、分子束磊晶和銅製程使用設備、低介電常數介電製作設備以及一些2000千禧年推出的新機器，也都在本書有詳盡的敘述，次世代先進的製程設備也有一些介紹。 本書是編著者累積多年經驗、費時一年而完成的。期望能給想從事半導體業的同學們一項內容豐富有力的教科書。給業界的工程師、研究生、教授老們一項便捷的參考。 目錄 第1章 晶體成長和晶圓製作 第2章 磊晶沉積設備 第3章 微影照相設備 第4章 化學氣相沉積爐 第5章 氧化擴散高溫爐 第6章 離子植入機 第7章 乾蝕刻機 第8章 蒸鍍機 第9章 濺鍍機 第10章 化學機械研磨 第11章 真空泵和真空系統 第12章 濕洗淨和乾洗淨製程設備 第13章 封裝製程設備
飲料實務總複習(第三
分析化學實驗(第五版
統計學(第五版)
視光藥理學(第五版)
財務管理理論與應用(
新編環境毒物學(第二
生活科技(第六版)
內外科護理技術(第十
Java程式設計入門
現代商用英文──書信
為了保障您的權益，新絲路網路書店所購買的商品均享有到貨七天的鑑賞期（含例假日）。退回之商品必須於鑑賞期內寄回（以郵戳或收執聯為憑），且商品必須是全新狀態與完整包裝(商品、附件、內外包裝、隨貨文件、贈品等)，否則恕不接受退貨。
