登入
｜
註冊
｜
會員中心
｜
結帳
｜
培訓課程
魔法弟子
｜
自資出版
｜
電子書
｜
客服中心
｜
智慧型立体會員
書名
出版社
作者
isbn
編號
5050魔法眾籌
|
NG書城
|
國際級品牌課程
|
優惠通知
|
霹靂英雄音樂精選
|
89S51/52 單晶片與專題製作最佳範本：使用Keil(附範例程式檔案及Keil C軟體)
．
半導體製程設備(4版
．
電子電機工程英漢對照
文學小說
文學
｜
小說
商管創投
財經投資
｜
行銷企管
人文藝坊
宗教、哲學
社會、人文、史地
藝術、美學
｜
電影戲劇
勵志養生
醫療、保健
料理、生活百科
教育、心理、勵志
進修學習
電腦與網路
｜
語言工具
雜誌、期刊
｜
軍政、法律
參考、考試、教科用書
科學工程
科學、自然
｜
工業、工程
家庭親子
家庭、親子、人際
青少年、童書
玩樂天地
旅遊、地圖
｜
休閒娛樂
漫畫、插圖
｜
限制級
半導體製程設備(3版)
Semiconductor Processing Equipment
作者：
張勁燕
分類：
工業•工程
／
電子•電機
出版社：
五南文化
出版日期：2007/2/14
ISBN：9571140074
書籍編號：kk0170318
頁數：628
定價：
680
元
優惠價：
9
折
612
元
書價若有異動，以出版社實際定價為準
訂購後立即為您進貨
訂購後立即為您進貨：目前無庫存量,讀者下訂後,開始進入調書程序,一般天數約為2-10工作日(不含例假日)。
團購數最低為 20 本以上
評價數：
(請將滑鼠移至星星處進行評價)
目前平均評價：
文字連結
複製語法
<a href='https://www.silkbook.com/book_detail.asp?goods_ser=kk0170318'>半導體製程設備(3版)</a>
圖片連結
複製語法
<a href='https://www.silkbook.com/book_detail.asp?goods_ser=kk0170318'><img src='https://www.silkbook.com/mall_image/bk/kk0170318.jpg' ALT='半導體製程設備(3版)' height='120' width='90'></a>
分
享
內容簡介
同類推薦
<b><font color="#aa0000">內容簡介</font></b> 半導體元件由矽土製成矽晶圓，再經數百個製程步驟，才製作出256M級的DRAM。這期間所使用的機器，主要的也不過十數種。晶圓成長爐、磊晶反應器、步進照像儀、化學氣相沉積爐、氧化和擴散高溫爐、離子植入機、乾蝕刻機、電子束蒸鍍機、濺鍍機、化學機械研磨機等。以及封裝製程設備、真空幫浦及系統洗淨機器等主要支援設備。本書對這些機器的構造和操作原理都有詳盡的敘述。 砷化鎵Ⅲ–Ⅴ化合物半導體製程，如金屬有機化學氣相沉積爐、分子束磊晶和銅製程使用設備、低介電常數介電製作設備以及一些2000千禧年推出的新機器，也都在本書有詳盡的敘述，次世代先進的製程設備也有一些介紹。本書是編著者累積多年經驗、費時一年而完成的。期望能給想從事半導體業的同學們一項內容豐富有力的教科書。給業界的工程師、研究生、教授老們一項便捷的參考。 <b><font color="#aa0000">作者簡介</font></b> 張勁燕 ‧現職：逢甲大學電子工程系副教授 ‧學歷： 交通大學電子工程系研究所博士 ‧經歷： 新加坡Intersil電子公司工程師 ITT環宇電子公司工程部經理 台灣電子電腦公司半導體廠廠長 萬邦電子公司總工程師 明新工專電子科副教授（或兼科主任） 逢甲大學電機系副教授（或兼系主任） ‧專長： 半導體元件、物理 VLSI製程設備及廠務 奈米科技 積體電路構裝
半導體產業概論
機器學習：從理論到實
半導體積體電路製程技
LabVIEW程式設
電子學(基礎概念)(
看圖學C語言與運算思
電腦網際網路：由上而
LabVIEW與感測
圖解電磁學：從概念到
超圖解電動車的構造與
為了保障您的權益，新絲路網路書店所購買的商品均享有到貨七天的鑑賞期（含例假日）。退回之商品必須於鑑賞期內寄回（以郵戳或收執聯為憑），且商品必須是全新狀態與完整包裝(商品、附件、內外包裝、隨貨文件、贈品等)，否則恕不接受退貨。
